据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，天下首台国产贸易电子束光刻机“羲之”已经进入运用测试，其精度比肩国际主流装备，标志着量子芯片研发今后有了“中国刻刀”。
于测试现�。隳暌褂嗪剂孔友芯吭合喔赏哦咏粽欧泵ψ牛惶ㄑ尤菝部崴颇暌剐透止竦幕嫡谧鲈擞貌馐裕缱酉允酒辽喜煌Ｉ烈攀凳辈问�。“这不是平凡的机械，而是一支能于头发丝上镌刻出整座都市舆图的‘纳米神笔’！”团队卖力人告诉记者，依托省重点试验室，这台研究院自立研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已经正式投入市场。
“羲之”取名自书法家王羲之，“只不外咱们的‘羊毫’是电子束，于芯片上刻写电路。”研发团队相干卖力人先容，这台装备专攻量子芯片、新型半导体研发的焦点环节，它经由历程高能电子束于硅基上“手写”电路，精度到达0.6nm，线宽8nm，可矫捷修改设计无须掩膜版，犹如用纳米级羊毫于芯片上精准作画，尤其合适芯片研发早期的重复调试。
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